巨量轉(zhuǎn)移 創(chuàng)新與突破

由南京平板顯示行業(yè)協(xié)會、成都新型顯示行業(yè)協(xié)會、中國光學(xué)光電子行業(yè)協(xié)會液晶分會、中國半導(dǎo)體照明/LED產(chǎn)業(yè)與應(yīng)用聯(lián)盟、中國電子材料行業(yè)協(xié)會、臺灣顯示器產(chǎn)業(yè)聯(lián)合總會聯(lián)合主辦，舜聯(lián)智庫承辦，中國電子視像行業(yè)協(xié)會、中國半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會、成都中電熊貓顯示科技有限公司、成都京東方光電科技有限公司、成都天馬微電子有限公司、成都辰顯光電有限公司（維信諾）共同協(xié)辦，華夏幸福基業(yè)股份有限公司戰(zhàn)略合作的“2020第四屆中國（國際）Micro-LED顯示高峰論壇暨第二屆成都新型顯示合作洽談會”于2020年11月5日-7日在成都隆重召開。

錼創(chuàng)科技執(zhí)行長暨創(chuàng)始人李允立

錼創(chuàng)科技執(zhí)行長暨創(chuàng)始人李允立通過現(xiàn)場連線，就“Micro-LED顯示技術(shù)的量產(chǎn)之路”作了精彩演講，他指出：Micro-LED顯示技術(shù)，由于其自發(fā)光顯示的光源特性，不僅具有高亮度、低功耗的特點(diǎn)，再加上其優(yōu)異的色彩表現(xiàn)與畫面效果，因此被視為終極的顯示技術(shù)。镎創(chuàng)自2016年起，每年展示各種Micro-LED的開發(fā)進(jìn)展，從2019年后，各個品牌公司與面板廠，無不積極展示MicroLED的產(chǎn)品，并宣布量產(chǎn)時程。除此之外，Micro-LED可以應(yīng)用在傳統(tǒng)的顯示器，更因?yàn)槠浔⌒突c穿透率高的特性，而可以提供更多創(chuàng)新的顯示設(shè)備及應(yīng)用，例如新型的車用顯示技術(shù)。在實(shí)現(xiàn)Micro-LED的進(jìn)程上，如何滿足顯示器的產(chǎn)品規(guī)格，并達(dá)到有競爭力的成本是最重要的事。舉例來說，縮小芯片尺寸，以及更具成本優(yōu)勢的巨量轉(zhuǎn)移技術(shù)。錼創(chuàng)已開發(fā)出各種需要的技術(shù)，包含了更均勻的磊芯片，高速的巨量轉(zhuǎn)移技術(shù)，以及更具效率的巨量修復(fù)技術(shù)。（演講速錄，將刊登在官微MicroLEDDisplay）

三安光電股份有限公司CTO徐宸科

三安光電股份有限公司CTO徐宸科，就“走向應(yīng)用市場化的新一代Micro-LED顯示技術(shù)”作了精彩演講，他介紹了三安光電在Micro-LED的進(jìn)展。三安光電在整個芯片的工藝，第一部分提供PL，巨量轉(zhuǎn)移；第二部分提供相關(guān)芯片的Profile；第三部分提供Chip的工具，最后結(jié)合AOI和PL把點(diǎn)的位置定位下來，用激光將不良的芯片給去除掉。從芯片到轉(zhuǎn)移到結(jié)合，三安光電都可以提供相應(yīng)的技術(shù)。目前，三安光電開發(fā)的Stamp Technology，可以做一個非常低的Pick place，可以做到4寸高分辨率、高精度，在凸起的高度可以控制它。（演講速錄，將刊登在官微MicroLEDDisplay）

臺灣清華大學(xué)材料系教授、副系主任陳學(xué)仕

臺灣清華大學(xué)材料系教授、副系主任陳學(xué)仕通過現(xiàn)場連線，就“量子點(diǎn)于噴墨打印式Micro-LED之應(yīng)用”作了精彩演講，他指出：Micro-LED的室內(nèi)顯示和穿戴是比較主要的應(yīng)用，目前發(fā)展技術(shù)是巨量轉(zhuǎn)移RGB三種晶片，瓶頸在于成本、良率、檢測、面板尺寸、電路基板等。他認(rèn)為，未來發(fā)展趨勢應(yīng)該可以選用轉(zhuǎn)移藍(lán)色晶片或直接使用Wafer，只轉(zhuǎn)移一次，加上紅綠QD兩個顏色的轉(zhuǎn)化片，可以減少70%巨量轉(zhuǎn)移成本，減少RGB復(fù)雜電路的成本，降低紅色晶片成本，增加綠色純度廣色域，加快Micro-LED導(dǎo)入市場的時間。（演講速錄，將刊登在官微MicroLEDDisplay）

清華大學(xué)電子工程系副教授盛興

清華大學(xué)電子工程系副教授盛興，就“基于轉(zhuǎn)移技術(shù)的堆疊RGB Micro-LED全色陣列”作了精彩演講，他介紹到：最近清華大學(xué)實(shí)驗(yàn)室開發(fā)出新的LED集成的方案，稱為疊層的Micro-LED，不同于傳統(tǒng)并排的主流方式，從并排的紅綠藍(lán)三色，希望能夠?qū)崿F(xiàn)疊層的紅綠藍(lán)LED在垂直方面的集成，這樣帶來的有時在同等分辨率情況下，對LED像素尺寸要求放寬，跟傳統(tǒng)相比，只需要LED的尺寸是原來的3倍可以實(shí)現(xiàn)同等顯示的分辨率的要求，可以用大尺寸的LED提升LED的發(fā)光性能，另外會降低加工制片的難度。（演講速錄，將刊登在官微MicroLEDDisplay）

南方科技大學(xué)電子系副研究員、深圳市思坦科技有限公司董事長兼總經(jīng)理劉召軍

南方科技大學(xué)電子系副研究員、深圳市思坦科技有限公司董事長兼總經(jīng)理劉召軍，就“Micro-LED及其巨量轉(zhuǎn)移與精準(zhǔn)鍵合關(guān)鍵問題探究”作了精彩演講，他介紹到：不同Micro-LED的產(chǎn)品路線不一樣，對于微型的小尺寸的Micro-LED是不需要巨量轉(zhuǎn)移的，只需要單片集成的技術(shù)就可以完成。對于中、大尺寸來說就需要巨量轉(zhuǎn)移。在做手機(jī)屏用到巨量轉(zhuǎn)移時，在現(xiàn)有基礎(chǔ)之上采用它們的優(yōu)點(diǎn)，結(jié)合思坦科技獨(dú)有的技術(shù)，在Micro-LED加上微納結(jié)構(gòu)提高效率，開發(fā)出來獨(dú)特的巨量轉(zhuǎn)移。它可以適配主流的轉(zhuǎn)移設(shè)備，可以做到20微米和15微米的轉(zhuǎn)移技術(shù)。（演講速錄，將刊登在官微MicroLEDDisplay）

廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所教授、學(xué)科帶頭人龔政

廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所教授、學(xué)科帶頭人龔政，就“基于膠帶輔助激光轉(zhuǎn)移的Micro-LED組裝技術(shù)、顯示器件及裝備”作了精彩演講，他介紹到：膠帶輔助激光技術(shù)，其優(yōu)點(diǎn)是良率高，膠帶粘附力遠(yuǎn)超過PDMS，商業(yè)的膠帶跟PDMS相比，它的成本很低，轉(zhuǎn)移的精度可以做得很好，這對于高分辨率Micro-LED的集成有它的優(yōu)勢。第二是適合Flip Chip Bonding。第三是大面積高轉(zhuǎn)移精度，芯片位置偏差正負(fù)0.5微米。通過這種方法可以實(shí)現(xiàn)相對比較大面積的轉(zhuǎn)移。（演講速錄，將刊登在官微MicroLEDDisplay）

深圳雷曼光電科技股份有限公司創(chuàng)始人、董事長兼總裁李漫鐵

深圳雷曼光電科技股份有限公司創(chuàng)始人、董事長兼總裁李漫鐵，就“超大尺寸Micro LED顯示屏轉(zhuǎn)移技術(shù)進(jìn)展”作了精彩演講，他介紹到：在6年前雷曼光電開始基于COB技術(shù)Micro-LED的意向，在三年前實(shí)現(xiàn)了基于COB技術(shù)的點(diǎn)間距產(chǎn)品的量產(chǎn)，2019年發(fā)布了基于COB技術(shù)的0.9毫米的3個24寸8K產(chǎn)品，今天實(shí)現(xiàn)了0.6毫米的Micro-LED超大尺寸產(chǎn)品的產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。目前這個技術(shù)非常能夠適應(yīng)市場各方面的需求，因?yàn)槌〕叽绲腗icro-LED的應(yīng)用在VR、AR、MR這些領(lǐng)域，他認(rèn)為還需要有3到5年的努力，是整個產(chǎn)業(yè)鏈的努力，這產(chǎn)業(yè)鏈包括了上中下游包括了裝備，包括了技術(shù)和工藝。（演講速錄，將刊登在官微MicroLEDDisplay）

南京大學(xué)電子科學(xué)與工程學(xué)院教授、副院長劉斌

南京大學(xué)電子科學(xué)與工程學(xué)院 教授/副院長劉斌，就“基于量子點(diǎn)轉(zhuǎn)移技術(shù)的RGB Micro-LED陣列芯片制備研究”作了精彩演講，他指出：借助微納加工圖形化模板技術(shù)、MOCVD及MBE再生長外延技術(shù)，闡明微納尺寸下橫向外延生長和位錯抑制機(jī)制，生長獲得高質(zhì)量氮化物材料，從而制備高性能GaN光電子器件。此外，將氮化鎵半導(dǎo)體微納加工與生長外延技術(shù)結(jié)合起來，實(shí)現(xiàn)了基于量子點(diǎn)轉(zhuǎn)移技術(shù)的RGB Micro-LED陣列芯片，發(fā)展了照明與顯示的新技術(shù)。（演講速錄，將刊登在官微MicroLEDDisplay）

成都辰顯光電有限公司總經(jīng)理助理（維信諾）王程功

成都辰顯光電有限公司總經(jīng)理助理（維信諾）王程功，就“Micro-LED巨量轉(zhuǎn)移技術(shù)的量產(chǎn)化探索”作了精彩演講，他介紹到：2020年8月辰顯光電成立，從維信諾Micro-LED研發(fā)中心剝離出來，在成都建設(shè)Micro-LED的生產(chǎn)線。辰顯光電是中國大陸第一家從LTPS驅(qū)動背板，巨量轉(zhuǎn)移，修復(fù)到模組全覆蓋的Micro-LED新型顯示中試線，并致力于成為Micro-LED新型顯示量產(chǎn)解決方案供應(yīng)商。（演講速錄，將刊登在官微MicroLEDDisplay）

東莞阿爾泰顯示技術(shù)有限公司副總經(jīng)理兼CTO梁文驥

東莞阿爾泰顯示技術(shù)有限公司副總經(jīng)理兼CTO梁文驥，就“Micro-LED微間距顯示產(chǎn)品集成技術(shù)”作了精彩演講，他指出：巨量轉(zhuǎn)移載板使用BT的板結(jié)構(gòu)，光照之后腐蝕，精度是正負(fù)15微米。現(xiàn)在引進(jìn)了類似于半導(dǎo)體工藝的方式做外層，內(nèi)層不變，內(nèi)層延用BT。用掩膜的工藝把外層去掉，接下來用光照、定向蒸鍍的方式把膠切掉。如此工藝做外層之后比較薄，但是它的精度非常高，可以基本上做到一個微米以下的邊緣結(jié)構(gòu)，這樣整個芯片的配合就完全不同了。PCB的載板和Micro-LED載板就完全不同，這是載板的工藝改進(jìn)。（演講速錄，將刊登在官微MicroLEDDisplay）

Toray Engineering Co.,Ltd. 理事/上海華麗工程技術(shù)有限公司董事總經(jīng)理董剛

Toray Engineering Co.,Ltd. 理事/上海華麗工程技術(shù)有限公司董事總經(jīng)理董剛，就“基于激光技術(shù)的巨量轉(zhuǎn)移設(shè)備解決方案-東麗工程的挑戰(zhàn)”作了精彩演講，他指出：目前東麗已經(jīng)做出來的巨量轉(zhuǎn)移的機(jī)器，激光一掃就可以把LED直接打到下面，非常快非常清楚，可以做到根據(jù)芯片的大小，精度可以做到正負(fù)2個微米，現(xiàn)在10個微米的精度都可以做到。同時，Mura的問題可以解決，通過利用軟件的算法去平衡，目前正在開發(fā)這個系統(tǒng)。（演講速錄，將刊登在官微MicroLEDDisplay）

濱松光子學(xué)商貿(mào)（中國）有限公司市場負(fù)責(zé)人向成豪

濱松光子學(xué)商貿(mào)（中國）有限公司市場負(fù)責(zé)人向成豪，就“面向量產(chǎn)應(yīng)用的Micro-LED在線檢測設(shè)備”作了精彩演講，他介紹到：巨量檢測是濱松公司提出的方式是采用光致發(fā)光的方式檢測。PL的檢測設(shè)備，可以測量它的波長、外觀，可以做光譜分析和時間壽命分析。場景是面對量產(chǎn)、RMD實(shí)驗(yàn)室和中試線均可使用，使用的場景也是Chip和Display廠。此外，對于LED和OLED的應(yīng)用，有顯微鏡可以監(jiān)測面板的像素的缺陷，以及Data的缺陷。（演講速錄，將刊登在官微MicroLEDDisplay）

展區(qū)交流

值得注意是，會場外安置了Mini/Micro-LED產(chǎn)品及技術(shù)的展示平臺，參會觀眾可在展區(qū)參觀及交流，京東方、中電熊貓、Topcon、海拓儀器、霍尼韋爾、深圳福英達(dá)等多家企業(yè)在現(xiàn)場進(jìn)行了先進(jìn)產(chǎn)品和技術(shù)的展覽演示，吸引了眾多與會觀眾駐足觀看。